進(jìn)口高精度電渦流傳感器SMT-9700

高精度電渦流傳感器SMT是一款專門為客戶定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、

2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺
寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時(shí)材料、線性、分辨率、帶寬各種
性能可自行優(yōu)化。

目標(biāo)

1.能夠精確地調(diào)整和保持半導(dǎo)體晶片在進(jìn)行物理氣相沉淀（PVD）室中整齊排列。
2.避免在進(jìn)入沉淀室時(shí)，由于排列不整齊而造成晶片損壞。
3.確保沉淀物統(tǒng)一地沉淀在晶片上。

高精度電渦流傳感器解決方案

  在物理氣相沉淀系統(tǒng)中，晶片會(huì)被放入不同的沉淀室里，每一個(gè)沉淀室用來沉淀不同的物質(zhì)。傳感器被安裝在沉淀室的內(nèi)側(cè)（如圖所示）。每個(gè)傳感器測(cè)量載有晶片的傳送器在沉淀室中的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止超出系統(tǒng)可承受的范圍。

結(jié)果：提高了時(shí)間和精度。

 
高精度電渦流傳感器特點(diǎn)
1.類型：SMT-9700高精度電渦流傳感器
2.非接觸性：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個(gè)傳感器均可以無接觸地測(cè)量到目標(biāo)體的位置。
3. 高分辨率：系統(tǒng)可識(shí)別
4 .重復(fù)性： Kaman傳感器可以提供高精度的性能，可以反復(fù)用于物理氣相沉淀。
5. 系統(tǒng)多功能性：測(cè)量系統(tǒng)可以廣泛用于測(cè)量的各個(gè)領(lǐng)域。

SMT是一款專門為客戶定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、
2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺
寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時(shí)材料、線性、分辨率、帶寬各種
性能可自行優(yōu)化。

客戶咨詢時(shí)需填寫的7個(gè)問題:
1.被測(cè)物材質(zhì)、大小和形狀
2.校準(zhǔn)量程
3.分辨率
4.線性度
5.熱靈敏度
6.重復(fù)性
7.傳感器的電纜長(zhǎng)度
 
應(yīng)用領(lǐng)域
 
光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。