傳感器，壓力傳感器芯體，擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體，擴(kuò)散硅芯體

HTXX系列恒流供電隔離膜硅壓阻式壓力傳感器芯體的核心是一個(gè)擴(kuò)散硅壓敏元件，被測(cè)介質(zhì)壓力(或壓差）通過隔離膜片硅油傳遞到硅橋片，利用擴(kuò)散硅的壓阻效應(yīng)原理，實(shí)現(xiàn)測(cè)量液體、氣體壓力大小的目的。該傳感器采用ISO技術(shù)封裝，具有很高的可靠性、重復(fù)性和穩(wěn)定性。
一、技術(shù)參數(shù)
輸入激勵(lì)：1.5mA
輸入阻抗：3kΩ～6kΩ
輸出阻抗：2.5kΩ～6kΩ
絕緣電阻：≥100MΩ/50VDC
被測(cè)介質(zhì)兼容性：與316L不銹鋼兼容的氣體和液體
響應(yīng)時(shí)間：≤1ms(10%～90%)
二、性能參數(shù)

參數(shù)	量程	典型值	最大值	單位
非線性	0～0.35～3.5MPa	±0.15	±0.3	%F.S
	3.5～35MPa	±0.2	±0.3	%F.S
	35～60Mpa	±0.25	±0.5	%F.S
重復(fù)性/遲滯		0.02	0.05	%F.S
零位輸出		0±1	0±2	mVDC
滿量程輸出		100±10	100±30	mVDC
零位溫度誤差		±0.5	±0.8	%F.S
滿量程溫度誤差		±0.5	±0.8	%F.S
過載壓力		3倍滿量程或100Mpa(取兩者較小壓力值)
溫度補(bǔ)償范圍   工作溫度范圍		0～70   -20～80		℃   ℃
貯存溫度范圍		-40～125		℃

 

以上參數(shù)測(cè)試條件：供電1.5mADC，室溫25℃