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CM202感應(yīng)器：
1、 CM202限位感應(yīng)器：KXF0DXAKA00
2、 CM202真空感應(yīng)器：KXF0DWP5A00
CM402感應(yīng)器：
CM402真空感應(yīng)器
1、CM402真空感應(yīng)器（1-4頭）: N610026749AA/KXF0DWVWA00/KXF0DWVWA01/N610040037AA
2、CM402真空感應(yīng)器（5-8頭）: N610027221AA/KXF0DWVXA02/KXF0DWVXA01/KXF0DWVXA00/KXF0DWVXA01
CM402 PHOTO SENSOR
1、CM402 PHOTO SENSOR： KXF0DH4AA01
2、CM402 PHOTO SENSOR ：KXF0DKZAA00
3、CM402 PHOTO SENSOR ：KXF0DL0AA01
4、CM402 頂PIN升降感應(yīng)器：KXF0DL2AA01
5、CM402 PHOTO SENSOR： N610006577AA/KXF0DL4AA01
6、CM402 PHOTO SENSOR ：KXF0DSSAA00
7、CM402 PHOTO SENSOR： N610002222AA/KXF0DL5AA01
CM602感應(yīng)器
CM602真空感應(yīng)器
1、CM602真空感應(yīng)器（1-6頭）：N610017022AD/ N610017022AC
2、CM602真空感應(yīng)器（7-12頭）：N610017023AC
CM602厚度感應(yīng)器
1、 CM602厚度感應(yīng)器
DT401真空感應(yīng)器
1、DT401真空感應(yīng)器：N510025620AA/KXF0DQXAA00（1-3頭）