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[摘要] 半導(dǎo)體加速度傳感器的一種制造方法，該方法在半導(dǎo)體圓片上形成壓力電阻，并用冷凍夾盤將圓片固定到切片鋸處。
032 半導(dǎo)體型三軸加速度傳感器
[摘要] 提供一種半導(dǎo)體型三軸加速度傳感器，其抗沖擊性高，X軸、Y軸和Z軸壓電電阻輸出之間的差異小，尺寸小，靈敏度高，輸出高。撓性臂由撓性加寬部分和撓性平行部分構(gòu)成。撓性加寬部分具有最大應(yīng)力部分。壓電電阻排列在撓性臂的上表面上以使壓電電阻的一端位于最大應(yīng)力部分。Z軸壓電電阻的位置靠近撓性臂的寬度中心線，而X軸和Y軸壓電電阻遠(yuǎn)離寬度中心線。而且，Z軸壓電電阻沿著撓性臂的長度方向從最大應(yīng)力部分移動(dòng)以減小X軸、Y軸和Z軸壓電電阻之間的輸出差。
023 加速度傳感器測(cè)量裝置
[摘要] 本實(shí)用新型涉及一種用于一般測(cè)量的敏感器件傳感器，尤其是一種加速度傳感器測(cè)量裝置。其提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝簡(jiǎn)便的加速度傳感器測(cè)量裝置。其包括金屬外殼1和金屬外殼1相封接的金屬支架6，在金屬支架6上設(shè)有引線管腳7，在金屬外殼1內(nèi)設(shè)有底板5，在底板5上設(shè)有墊塊3，墊塊3上設(shè)有條形AL2
024 三軸集成壓阻式加速度傳感器
[摘要] 本實(shí)用新型公開了一種三軸集成壓阻式加速度傳感器，包括分別測(cè)量X、Y、Z三個(gè)方向加速度信號(hào)的硅MEMS壓阻式加速度傳感器，其中測(cè)量平面內(nèi)X向和Y向加速度信號(hào)的兩個(gè)硅MEMS壓阻式加速度傳感器都是包括硅框架、質(zhì)量塊、懸臂梁、壓敏電阻、支撐梁的結(jié)構(gòu)，它們?cè)谄矫鎯?nèi)垂直布置；第三個(gè)壓阻式加速度傳感器位于X向和Y向壓阻式加速度傳感器的一側(cè)，用于測(cè)量Z方向的加速度信號(hào)。三個(gè)傳感器的壓敏電阻都分別設(shè)置在各自微結(jié)構(gòu)的敏感梁的上表面。采用該結(jié)構(gòu)可在一個(gè)芯片上采用相同的工藝同時(shí)制作出三個(gè)壓阻加速度傳感器，降低了加工難度。該傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、可靠性高、成本低和易于集成的特點(diǎn)。
025 半導(dǎo)體加速度傳感器及其制備方法
[摘要] 一種半導(dǎo)體加速度傳感器包括：框架2，其內(nèi)具有開口21；撓性橫梁3，從框架2延伸到框架2的開口內(nèi)；重物5，懸掛于橫梁3并由橫梁3支撐以使重物5可移動(dòng)；壓電電阻器4，安裝在橫梁3上并響應(yīng)其上產(chǎn)生的加速度而改變電阻值?？蚣?包括風(fēng)擋部分6，每個(gè)風(fēng)擋部分6覆蓋開口21的一部分，該部分包括從開口21側(cè)面上框架2的兩鄰接側(cè)面的拐角部分22到開口21內(nèi)的范圍，并且每個(gè)風(fēng)擋部分6用作制動(dòng)器以重物5的移動(dòng)。重物5具有分別面向拐角部分22的拐角部分53，每個(gè)拐角部分53的角被去掉以具有從俯視方向看的弧形或由至少三條邊構(gòu)成的折線形。由此，增加每個(gè)制動(dòng)器的斷裂強(qiáng)度，并因此獲得具有優(yōu)良抗沖擊性的半導(dǎo)體加速度傳感器。
022 一種量程可達(dá)20萬m/s2的微機(jī)械加速度傳感器
029 半導(dǎo)體加速度傳感器
007 加速度傳感器
033 加速度傳感器裝置
006 加速度傳感器
031 加速度傳感器
001 單片集成的直拉直壓微梁結(jié)構(gòu)壓阻加速度傳感器及制作方法
013 集成硅微電阻式加速度傳感器及其制造加工方法
030 加速度傳感器
005 加速度傳感器
003 一種雙E型圓膜片十字梁結(jié)構(gòu)的六軸加速度傳感器
010 半導(dǎo)體加速度傳感器
008 半導(dǎo)體加速度傳感器
016 加速度傳感器
035 一種硅MEMS壓阻式加速度傳感器
037 電容式加速度傳感器信號(hào)變換電路
027 采用摻雜半導(dǎo)體層作為布線的半導(dǎo)體加速度傳感器
011 半導(dǎo)體加速度傳感器
019 厚膜壓阻式三軸向加速度傳感器
026 加速度傳感器及其制造方法
004 MEMS壓阻式伺服加速度傳感器及其制備方法
020 集成硅微電阻式加速度傳感器
015 深溝側(cè)壁擴(kuò)散和電絕緣薄膜填充制造壓阻加速度傳感器
021 加速度傳感器
002 一種高固有頻率的量程可達(dá)200萬m/s2的微機(jī)械加速度傳感器
014 具有諧振結(jié)構(gòu)的傳感器，尤其是加速度或轉(zhuǎn)速傳感器及用于自檢測(cè)的裝置及方法
017 一種量程可達(dá)200萬m/s2的微機(jī)械加速度傳感器
028 加速度傳感器
034 加速度傳感器
009 半導(dǎo)體加速度傳感器
018 半導(dǎo)體加速度傳感器
036 硅基帶鎖止功能的閾值可調(diào)加速度開關(guān)傳感器及制作方法
以上37項(xiàng)技術(shù)包括在一張光盤內(nèi)
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