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[摘要] 本技術提供了一種用于環(huán)形源反應器的具有高均勻腔室干燥工藝的等離子體浸沒離子注入方法,該腔室具有頂部側壁和柱狀側壁以及面向該頂部的支撐底座。該方法包括在晶片支撐底座的外圍上設置具有多個氣體注入孔的氣體分配環(huán),該孔從晶片支撐底座徑向朝外。含硅氣體通過該環(huán)的氣體分配孔導入,以建立含硅氣體的徑向朝外的流型。反應器包括在頂部中近鄰相對側部的側壁的成對管
005 化學氣相淀積反應器和化學氣相淀積方法
[摘要] 本技術揭示了一種用于化學氣相淀積的反應器和一種使用該反應器進行化學氣相淀積的方法。該反應器有一種圓柱形反應腔,腔內有一種圓柱形頂蓋支撐和一種環(huán)形氣體擴散盤。該圓柱形反應腔能實現(xiàn)多股氣流沿著與襯底表面平行或與襯底表面成一定角度的徑向方向和另一股氣流沿著與襯底表面垂直的方向進入反應腔。該反應器具有結構簡單,操作與維修方便,制造
002 用于生化反應器的在線細胞顯觀察儀
[摘要] 本技術涉及一種用于生化反應器的在線細胞顯觀察儀,包括觀察儀主體,物鏡,觀察入射窗,取樣裝置,外部光源系統(tǒng);其特點是:外部光源系統(tǒng)與物鏡之間設置反射棱鏡,物鏡后面,觀察入射窗前設有反射鏡,反射棱鏡前面放置環(huán)形光闌片,反射棱鏡側面上部置有CCD或面陣圖像傳感器;取樣裝置由取樣塊,性元件,移動裝置構成,其中,取樣塊與移動裝置的驅動軸之間連接性元件,取樣塊
004 一種培養(yǎng)光合細菌的高效光生物反應器
[摘要] 本技術提供了一種培養(yǎng)光合細菌的高效光生物反應器,包括控制系統(tǒng)、透明的圓柱形桶體、內置光源,內置燈管套刷子,水循環(huán)導流裝置、加熱及電子裝置。其特征在于系統(tǒng)是全封閉;可同時利用內置光源和外部自然光源,內置光源在桶體圓心,由石英質燈管套保護,燈管套外壁裝有提拉式環(huán)形刷子;水循環(huán)導流裝置偏于桶體一側,由型潛水泵、水循環(huán)導管組
006 生物質反應器
[摘要] 本技術提供一種用于生物質材料轉化的反應器。該反應器具有延長的環(huán)形室,該室具有內壁(15)和外殼(11)。熱源(12,16)位于該室的內壁之內。螺旋輸送機(7)從一端(5)延伸進入該室,以進給生物質材料。在另一端是出口(21)。熱源是由安裝成在導電材料的套筒(15)內旋轉的一系列永磁鐵組件來提供的。該套筒是由合適的不銹鋼制成的該室的內壁來提供的。每個永磁鐵組件具有在圓形外緣上間隔分布的一系列磁鐵。隔熱材
007 一種氣升式光生物反應器
010 技術封閉式冷白熒光光生物反應器
014 管式超聲反應器
001 具有獨立的電容及環(huán)形等離子體源的等離子體反應器設備
009 三維電極 電芬頓反應器
012 一種氣升式光生物反應器
008 在流通式等離子反應器中生產IV族元素納米顆粒的方法和裝置
013 一種環(huán)己酮氨肟化反應器
011 化學氣相淀積反應器