激光修阻機應(yīng)用于壓力傳感器行業(yè)

激光修阻機應(yīng)用于壓力傳感器行業(yè)
激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
先進(jìn)的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡(luò)組成。
先進(jìn)的激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能，可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò)、電容網(wǎng)絡(luò)、瓷基薄膜集成元件，還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度，V/F轉(zhuǎn)換器的頻率，有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調(diào)電壓等。同時還具有IEEE488接口，可與其他測試設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。 
三工光電為任何行業(yè)領(lǐng)域設(shè)計激光設(shè)備，無論您有什么需求，在三工光電都可以找到一款適合您的機型。三工光電的工程師將為每一位客戶提供一整套獨一無二的解決方案，我們將從加工質(zhì)量、生產(chǎn)效率、生產(chǎn)成本、承受價位等方面作為參考因素，選配出最適合您需要的激光設(shè)備！
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2010年武漢三工光電發(fā)力解決了激光修阻機在研發(fā)當(dāng)中遇到的各種難題，研發(fā)出具有國際先進(jìn)水平的激光調(diào)阻設(shè)備，打破了國產(chǎn)精密電子行業(yè)依賴國外進(jìn)口激光調(diào)阻設(shè)備的難題。激光調(diào)阻就是利用激光在電阻上刻蝕線段來改變電阻的截面積，從而達(dá)到微調(diào)阻值的目的。
激光修阻機產(chǎn)品特點：　
--調(diào)阻精度高：先進(jìn)的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束；四線制高速測量系統(tǒng)，測量時間僅為25us；擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補償功能；　
--調(diào)阻速度快：先進(jìn)的激光器擁有極高的重復(fù)頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國進(jìn)口掃描振鏡，掃描速度極快；高精度分步重復(fù)機構(gòu)，空氣軸承，移動速度及加速度快；　
--可靠性高：整機配置核心器件均采用原裝進(jìn)口配置；采用花崗巖臺座，穩(wěn)定可靠；　
--功能強大：擁有溫度實時補償功能；同時具有激光劃片和打標(biāo)功能；　
--運行及維護(hù)成本低廉：采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設(shè)備；操作簡單，無須高額培訓(xùn)成本；　
激光修阻機技術(shù)參數(shù)：　
--激光器系統(tǒng)：　
激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器　
激光波長：1064/532/355nm　
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　
激光頻率：200Hz-50KHz　
典型光斑尺寸：30μm　
實際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達(dá)12μm　
泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時　
冷卻方式：風(fēng)冷　
對焦方式：計算機程序控制　
--激光修阻機激光束定位系統(tǒng)：　
激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）　
點到點運動時間：5ms（典型）　
最大速度：7000mm/s　
重復(fù)定位精度：2.5μm　
激光束最小步進(jìn)：0.76μm　
--圖像監(jiān)視系統(tǒng)：　
監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視　
最大放大倍數(shù)：>100倍　
圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶　
--激光修阻機測量系統(tǒng)：　
激勵方式：電流/電壓激勵　
恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇　
恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）　
電阻測量方式：四線制加電流測電壓　
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）　
調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定　
電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     　
中阻：<0.05%　
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）　
電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ　
電阻測量速度：25μs　
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）　
探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）　
探針板運動：計算機程序控制　
--計算機及軟件系統(tǒng)：　
工業(yè)控制計算機（雙核），17寸液晶　
操作系統(tǒng)：Windows XP　
VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強大　
--激光修阻機分步重復(fù)運動系統(tǒng)：　
運動XY范圍：290x260mm　
運動分辨率：1μm　
定位精度：小于6μm（帶誤差補償）　
重復(fù)定位精度：小于3μm   　
最大運動速度：900mm/s　
具有溫度補償?shù)裙δ堋?br/>--非接觸溫度測量：　
溫度測量精度：0.2℃　
調(diào)阻溫度修正：計算機程序控制　
--激光修阻機其它技術(shù)指標(biāo)：　
供電電壓：220V AC　
整機功耗：小于1000W　
激光修阻機應(yīng)用和市場：主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業(yè)。
 

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